JEOL annuncia il lancio commerciale di HAXIS, il nuovo microscopio elettronico a scansione con fresatura ionica ad angolazione ridotta

TOKYO--(BUSINESS WIRE)--JEOL Ltd. (president e CEO: Izumi Oi) annuncia lo sviluppo di HAXIS, il nuovo microscopio elettronico a scansione con fresatura ionica, con inizio delle vendite previsto per il 5 ottobre 2026.

Microscopio elettronico a scansione con fresatura ionica ad angolazione ridotta HAXIS

Contesto dello sviluppo

Con la continua miniaturizzazione e la sempre maggiore complessità delle strutture dei dispositivi a semiconduttore avanzati, il contatto e la misurazione dei circuiti su scala micrometrica tramite nanomanipolatori sono diventate operazioni ardue, e il contatto generato dalla sonda può influenzare il target dell'analisi, rendendo necessario il ricorso a nuovi metodi di analisi dei guasti.

JEOL ha effettuato ricerche a lungo termine sulla tecnologia di rilevamento del contrasto di tensione passivo (PVC) e, grazie al miglioramento dei rivelatori e delle tecniche di preparazione dei campioni, ha sviluppato un metodo che consente di ottenere una tecnologia di osservazione PVC stabile ed estremamente riproducibile.

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