-
NEDO(国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構)、ギガフォトン参画のプロジェクト成果を発表
NEDO(国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構)、ギガフォトン参画のプロジェクト成果を発表
Share
栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--(ビジネスワイヤ) -- 半導体リソグラフィ用光源メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長:榎波龍雄)は、2024年12月4日付でNEDO(国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構)と共同でニュースリリースを発表しました。
ギガフォトンは、NEDOのプロジェクト「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業」に参画し、今回、その成果がNEDOよりニュースリリースとして発表されました。
リリースはNEDOウェブサイトからご覧いただけます。下記リンクよりぜひご一読ください。
https://www.nedo.go.jp/news/press/AA5_101796.html
Contacts
報道関係者向けの連絡窓口:
ギガフォトン株式会社
経営企画部
大石憲司
Eメール: web_info@gigaphoton.com
More News From Gigaphoton Inc.
ギガフォトン、ArFエキシマレーザ向けガスリサイクルシステムを開発
栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--(ビジネスワイヤ) -- 半導体リソグラフィ用光源メーカーのギガフォトン株式会社(本社:栃木県小山市、代表取締役社長:榎波龍雄)は、2026年9月にArFエキシマレーザ向けオンサイトガスリサイクルシステム「hTGM for ArF」を開発したと発表しました。 ArFリソグラフィは、先端半導体の量産工程において現在も重要な役割を担っており、安定したレーザ運用と希ガス資源の有効活用は、半導体メーカーにとって重要な課題となっています。 近年、世界的な地政学的リスクや供給網の混乱により、ネオンガスの需給バランスは大きく変動してきました。ギガフォトンはこれまで、ガス削減技術やKrFエキシマレーザ向けガスリサイクルシステムを通じて、お客様の安定生産を支援してきました。今回発表するhTGM for ArFは、その取り組みをArFリソグラフィ領域へ拡大するものです。 hTGM for ArFは、工場内で使用済みガスを回収・再利用し、ArFレーザにおいて、50%のネオンガスリサイクル率を実現します。年間470kLの処理能力を有し、最大5台のArFエキシ...
ギガフォトン、先端材料向けパルスレーザ成膜用エキシマレーザ「L300KZ」の評価を開始
栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--(ビジネスワイヤ) -- 半導体リソグラフィ用光源メーカーであるギガフォトン株式会社(本社:栃木県小山市、代表取締役社長:榎波龍雄、以下「当社」)は、内閣府が所管する「ムーンショット型研究開発制度」の目標10において開発を進めているPLD(Pulsed Laser Deposition:パルスレーザ成膜)用KrFエキシマレーザ「L300KZ」を、2026年9月25日に国内高温超伝導線材メーカーへ設置し、高温超伝導線材の製造プロセスへの適用に向けた評価を開始しました。 当社は、ムーンショット目標10の研究開発プロジェクト「多様な革新的炉概念を実現する超伝導基盤技術」(グラント番号:JPMJMS24A2)の参画機関のひとつです。核融合炉に用いられる超伝導マグネットの重要な構成材料である高性能REBCO線材の高品質・低価格な量産技術の確立に向け、PLDに用いられるエキシマレーザの開発を担当しています。今回設置したL300KZは、半導体露光用エキシマレーザで培った技術を活用して開発した、高温超伝導材料の成膜プロセスに用いられるPLD技術向けの...
ギガフォトン、九州事務所にトレーニング用レーザーを導入
栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--(ビジネスワイヤ) -- 半導体リソグラフィ用光源メーカーのギガフォトン株式会社(本社:栃木県小山市、代表取締役社長:榎波龍雄)は、2026年6月にギガフォトン九州事務所内にトレーニング用レーザーを導入し、お客様のサポート体制を強化すると発表しました。 近年のAI需要増加による半導体産業の成長により、今後更なる投資の増加が見込まれます。それに伴い、工場で稼働するギガフォトンのレーザー台数も増加することから、ギガフォトンではサービス強化を図るため、フィールドサービスエンジニア(FSE)の育成環境充実を目的に、九州事務所内にトレーニング用レーザーを導入し、2026年6月から運用を開始します。 今回、同事務所内にクリーンルームを開設し、最大3台のトレーニング用レーザーが設置可能となります。今回の導入により、FSE育成キャパシティをさらに拡大させることで、迅速なスキルアップを実現します。また、西日本地区に工場を有するお客様に向けたトレーニングを実施できる環境を整え、さらに連携を強化します。 ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの榎波龍雄氏は、こ...
