JEOL: Markteinführung des Laser-REM-Systems „LazEdge“

TOKIO--(BUSINESS WIRE)--JEOL Ltd. (President und CEO: Izumi Oi) hat das „LazEdge“ entwickelt, ein Rasterelektronenmikroskop (REM) mit integriertem Laserbearbeitungssystem, das am 25. Mai 2026 in den Vertrieb geht.
Geräte zur Querschnittspräparation, wie das fokussierte Ionenstrahlsystem (FIB-System), sind in Wissenschaft und Technik an Forschungsinstituten, Universitäten und in der Industrie weit verbreitet. In den letzten Jahren steigt die Nachfrage nach Systemen, die große Flächen mit hoher Geschwindigkeit bearbeiten und gleichzeitig eine hohe Qualität der bearbeiteten Oberfläche erzielen können. „LazEdge“ ist ein Instrument, bei dem das REM von JEOL sowie die proprietäre Lasertechnologie von Hamamatsu Photonics K.K. zum Einsatz kommt, was die Laserbearbeitung direkt in der Probenkammer des Elektronenmikroskops ermöglicht.
Mithilfe des Systems können hochwertige Querschnittsproben, die durch eine schnelle Bearbeitung großer Flächen hergestellt wurden, direkt und ohne Kontakt mit der Außenumgebung zur Analyse übertragen werden, wie etwa REM-Beobachtung, Elementanalyse und Kristallorientierungsanalyse. Damit erfüllt es ein breites Spektrum analytischer Anforderungen, darunter die Analyse von Metallproben, Batterieanalysen, die einen Luftausschluss erfordern, sowie Fehleranalysen an Halbleitern, die eine schnelle Querschnittspräparation voraussetzen.

[Die wichtigsten Produkteigenschaften]

1. Qualitativ hochwertige Querschnittspräparate in der Probenkammer
   Durch die Integration eines Laserbearbeitungssystems in das REM erzielt LazEdge eine hochwertige Querschnittspräparation großer Flächen mit reduzierten LIPSS-Strukturen bei hoher Geschwindigkeit in der Probenkammer. Dies wird durch den Einsatz eines proprietären optischen Systems erreicht, das eine räumliche Phasenmodulation des Laserstrahls ermöglicht.
2. Stabile und saubere Bearbeitung durch „LazEdge Shield“:
   Die proprietäre Abschirmtechnologie „LazEdge Shield“ minimiert die Streuung von während der Bearbeitung entstehenden Partikeln und ermöglicht eine saubere Bearbeitung, ohne dass Detektoren, Säulen oder die Wände der Probenkammer kontaminiert werden. Darüber hinaus kann das Lasersystem gleichzeitig auf die Bearbeitungsposition der Probe sowie auf die Position der Lasereinstrahlung auf der Abschirmung fokussieren. Diese Technologie erlaubt es, die Probe zu bearbeiten und gleichzeitig die Abschirmung zu reinigen (Vermeidung von Kontaminationen). Dadurch wird eine hochwertige Querschnittspräparation bei dauerhaft stabiler Leistung gewährleistet.
3. Nahtlose Bearbeitung und Beobachtung mit hohem Durchsatz
   Durch das Anbringen einer Abschirmung innerhalb der REM-Probenkammer und die Durchführung der Bearbeitung in der Kammer können Bearbeitung und Beobachtung nahtlos sowie mit hohem Durchsatz durchgeführt werden. Beispielsweise kann bei EBSD-Messungen bereits allein durch die Laserbearbeitung ein Querschnitt mit ausreichender Qualität für EBSD-Messungen erzeugt werden. Durch die automatische Wiederholung von Bearbeitung und Messung ist zudem eine 3D-EBSD-Erfassung möglich.

[Absatzziel] 10 Einheiten/Jahr

Weiterführender Link
Produktinformation: LazEdge Laser-REM-System
https://www.jeol.com/products/scientific/sem/lazedge.php

JEOL Ltd.
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokio, 196-8558, Japan
Izumi Oi, President & CEO
(Aktienkürzel: 6951, Tokyo Stock Exchange Prime Market)
www.jeol.com

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