Rigaku accélère le développement de la métrologie des semi-conducteurs de nouvelle génération en s'appuyant sur son infrastructure de recherche de classe mondiale

TOKYO--(BUSINESS WIRE)--Rigaku Corporation, partenaire mondial de solutions dans le domaine des systèmes d'analyse par rayons X et filiale du groupe Rigaku Holdings Corporation (siège social : Akishima, Tokyo ; CEO : Jun Kawakami ; « Rigaku »), a annoncé l'intensification de son développement des technologies de métrologie pour les semi-conducteurs de nouvelle génération, en s'appuyant sur des environnements de recherche mondiaux.

Dans le cadre de ces efforts, Rigaku collabore avec imec, un pôle de recherche et d'innovation de premier plan dans le domaine des semi-conducteurs, situé en Belgique, en vertu d'un programme de développement triennal. Cette initiative permettra à Rigaku de perfectionner ses technologies de pointe en radiographie, notamment la métrologie 3D des dispositifs, la détection haute sensibilité de films ultraminces et d'éléments traces, ainsi que le contrôle non destructif des défauts microscopiques.

À mesure que les semi-conducteurs évoluent vers des architectures avancées telles que les transistors à effet de champ à grille enveloppante (GAA) et les transistors à effet de champ complémentaires (CFET)¹, et que la densité de mémoire ne cesse d'augmenter, les procédés de fabrication se complexifient. Cette évolution génère une demande croissante de technologies de mesure et d'inspection non destructives et de haute précision, indispensables à une production de masse stable. Rigaku répond à ces besoins en proposant des solutions métrologiques et d'inspection différenciées, à forte valeur ajoutée.

Principaux domaines prioritaires

• Logique avancée : technologies de métrologie et d’inspection pour les dispositifs CFET
• Métrologie des réticules : évaluation de la dégradation des photomasques utilisés en lithographie EUV²
• Câblage et conditionnement avancés³ : technologies d'inspection non destructive
• Mémoire avancée : évaluation des nanostructures dans la DRAM 3D (un dispositif de mémoire de nouvelle génération)

Markus Kuhn, membre de la direction et general manager de la division Métrologie des semi-conducteurs de Rigaku, a déclaré : « Le marché potentiel des produits de métrologie et d’inspection de Rigaku destinés aux semi-conducteurs d’IA avancés devrait atteindre environ 1 milliard de dollars d’ici 2030. Pour accompagner cette croissance, Rigaku continuera de lancer des produits différenciés à forte valeur ajoutée, dans le but d’atteindre 50 % de ce marché. Le renforcement de notre collaboration avec imec consolidera notre compétitivité dans les solutions de mesure et d’inspection à haute valeur ajoutée, et soutiendra notre croissance à moyen et long terme. »

1 GAA/CFET : transistors à effet de champ à grille enveloppante et transistors à effet de champ complémentaires. Architecture de dispositif de nouvelle génération dans laquelle des transistors de type n et de type p sont empilés verticalement pour augmenter la densité de dispositifs au-delà de la technologie nanosheet (GAA).
2 Exposition EUV : une technologie de base pour la fabrication avancée de semi-conducteurs qui permet la formation de motifs de circuits ultrafins.
3 Conditionnement avancé : technologies de conditionnement intégrant plusieurs puces semi-conductrices afin d’améliorer les performances et réduire la consommation d’énergie.

À propos du groupe Rigaku

Depuis la création de l'entreprise en 1951, les ingénieurs du groupe Rigaku se consacrent à apporter des bénéfices à la société grâce à des technologies de pointe, notamment dans ses domaines clés que sont l’analyse thermique et l’analyse par rayons X. Présent dans 136 pays et régions et employant quelque 2 000 personnes dans neuf sites à travers le monde, Rigaku est un partenaire de choix pour les industries et les instituts de recherche et d’analyse. Notre chiffre d’affaires à l’international atteint environ 70%, tout en conservant une part de marché exceptionnellement élevée au Japon. Nous continuons à nous développer et à croître aux côtés de nos clients. À mesure que les applications s’étendent des semi-conducteurs, des matériaux électroniques, des batteries, de l’environnement, des ressources, de l’énergie et des sciences de la vie à d’autres domaines de haute technologie, Rigaku réalise des innovations « pour améliorer notre monde en ouvrant de nouvelles perspectives ».
Pour plus de détails, rendez-vous sur rigaku-holdings.com/english

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