ギガフォトン、PLD装置向けエキシマレーザの研究開発を加速

内閣府所管のムーンショット型研究開発制度に参画

栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- 半導体リソグラフィ用光源メーカーであるギガフォトン株式会社（本社：栃木県小山市、代表取締役社長：榎波龍雄）は、内閣府が所管する「ムーンショット型研究開発制度」への参画を発表しました。

ムーンショット型研究開発制度は、破壊的イノベーションの創出を目指し、従来技術の延長にない、より大胆な発想に基づく挑戦的な研究開発を推進する国の大型研究プログラムです。このうち目標10では、地球環境と調和し、資源制約から解き放たれた活力ある社会の実現に向けて、フュージョンエネルギー（核融合反応によって生まれるエネルギー）の実用化を目指しています。

ムーンショット目標10の取り組みにおいて、ギガフォトンは、「多様な革新的炉概念を実現する超伝導基盤技術」（プロジェクトマネージャー：木須隆暢氏）の参画メンバーとして、核融合炉に用いられる超伝導マグネットの重要な構成材料である高性能REBCO^*線材の高品質・低価格な量産技術の確立を目指し、PLD（パルスレーザ成膜）に用いられるエキシマレーザの開発を担います。全世界の半導体製造工場で日々高稼働を実現する露光用エキシマレーザで培ったノウハウを活かし、PLD装置の性能向上と高稼働率実現の両面から量産技術の確立に貢献します。

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの榎波龍雄氏は、こう述べています。「核融合炉等に使われる高温超伝導線材は、今後大きな可能性を秘めた魅力的な分野であり、またカーボンニュートラルの実現のためにも取り組むべき非常に重要な課題です。
ギガフォトンは今後も、本プロジェクトにおける開発を通じて、カーボンニュートラルの実現ならびに、持続可能な社会の実現に向けて、さらに貢献していきます。」

*REBCO: Rare Earth-Barium-Copper-Oxide、希土類系銅酸化物高温超伝導材料の略称。液体窒素温度（-196℃）以下で超伝導状態（電気抵抗ゼロ）となります。