-

ギガフォトン、半導体露光技術最大の学会「SPIE Advanced Lithography + Patterning 2023」にて論文発表

栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- （ビジネスワイヤ） -- 半導体リソグラフィ用光源メーカーであるギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 浦中克己）は、2023年2月26日（日）から3月2日（木）（アメリカ時間）にかけてカリフォルニア州サンノゼにて開催される、半導体露光技術に関する世界最大の学会「SPIE Advanced Lithography + Patterning 2023」において、次の論文発表を行います。

弊社では、DUVの露光技術における歩留まり改善やサステナビリティ推進に関するトピックス、およびEUVに関する研究開発進捗状況について紹介します。
（論文ペーパーのコピーが必要な場合には、ギガフォトンまでご連絡ください。）

・ギガフォトン　SPIEプレゼンテーション発表
先端液浸露光用光源によるEPE改善と生産性改善技術　 [Paper#: 12494-44]
プラズマ特性から想定される半導体製造におけるLPP-EUV光源の将来像 [Paper#: 12494-45]

・ポスター発表
LPP-EUV光源の主要コンポーネント関発状況　[Paper#: 12494-51]
エキシマ光源性能の機械学習シミュレーションを通した装置メンテナンス機能の開発　 [Paper#: 12496-101]
先端ArF液浸露光用光源「GT66A」による装置稼働率最大化を通したサステナビリティ貢献 [Paper#: 12494-60]

Contacts

報道関係者向けの連絡窓口：　
ギガフォトン株式会社
経営企画部
大石憲司
TEL: 0285-37-6931
Eメール: web_info@gigaphoton.com

Industry:

Gigaphoton Inc.

Release Versions
EnglishChinese TraditionalChinese SimplifiedJapanese

Contacts

報道関係者向けの連絡窓口：　
ギガフォトン株式会社
経営企画部
大石憲司
TEL: 0285-37-6931
Eメール: web_info@gigaphoton.com

More News From Gigaphoton Inc.

ギガフォトン、先端半導体パッケージ用加工向けエキシマレーザーを日本国内企業に設置

栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- 半導体リソグラフィ用光源メーカーであるギガフォトン株式会社（本社：栃木県小山市、代表取締役社長：榎波龍雄）は、半導体パッケージ加工向けエキシマレーザーを日本国内で最先端半導体の研究開発を行う企業に納入し、11月に装置の設置を完了したと発表しました。 ギガフォトンでは従来培ってきた半導体リソグラフィ用光源の技術を応用し、半導体後工程用の最先端半導体パッケージ加工用光源を開発してまいりました。 最新ラインナップG300Kは、半導体パッケージサブストレートの加工用装置に接続されるKrF（248nm）のエキシマレーザーであり、高出力、高繰り返し、高稼働率、長寿命を実現しています。エキシマレーザーを使用した加工は、主に直径10μm以下の微細な穴あけやトレンチ加工を目的としており、今後サーバー向けを中心に増加が見込まれるチップレットを用いた最先端半導体パッケージの製造へ採用されることが期待されています。 今回の設置では、当社G300Kが株式会社オーク製作所の加工装置に搭載されました。 なお、本製品の加工結果等は、2025...

ギガフォトン、PLD装置向けエキシマレーザの研究開発を加速

栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- 半導体リソグラフィ用光源メーカーであるギガフォトン株式会社（本社：栃木県小山市、代表取締役社長：榎波龍雄）は、内閣府が所管する「ムーンショット型研究開発制度」への参画を発表しました。 ムーンショット型研究開発制度は、破壊的イノベーションの創出を目指し、従来技術の延長にない、より大胆な発想に基づく挑戦的な研究開発を推進する国の大型研究プログラムです。このうち目標10では、地球環境と調和し、資源制約から解き放たれた活力ある社会の実現に向けて、フュージョンエネルギー（核融合反応によって生まれるエネルギー）の実用化を目指しています。 ムーンショット目標10の取り組みにおいて、ギガフォトンは、「多様な革新的炉概念を実現する超伝導基盤技術」（プロジェクトマネージャー：木須隆暢氏）の参画メンバーとして、核融合炉に用いられる超伝導マグネットの重要な構成材料である高性能REBCO*線材の高品質・低価格な量産技術の確立を目指し、PLD（パルスレーザ成膜）に用いられるエキシマレーザの開発を担います。全世界の半導体製造工場で日々高稼...

ギガフォトン、九州事務所を竣工し日本国内サービス体制を強化

栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- 半導体リソグラフィ用光源メーカーであるギガフォトン株式会社（本社：栃木県小山市、代表取締役社長：榎波龍雄）は、6月27日に九州事務所を竣工し、九州地域でのサービスのキャパシティを従来の3倍に拡大したと発表しました。 ギガフォトンでは九州地域において、2000年にサービス拠点を開設して以来、お客さまへのサービス提供を行ってきました。近年、九州での投資が活況であることを受け、お客さまの今後の更なる投資拡大も見据え、九州事務所を移転するとともに、サービスのキャパシティを拡大しました。 ギガフォトン新九州事務所は日本国内では初となる、自社所有の建物となるサービス拠点となります。加えて、今後トレーニング設備を導入する予定となっており、2階建、総延床面積1,112.66㎡の規模となります。この新九州事務所の完成により、九州地域の対応キャパシティを現在の約3倍に拡大します。 ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの榎波龍雄氏は、こう述べています。「拡大する半導体産業への貢献のため、ギガフォトンは世界各地で継続的にサービスのキャ...
Back to Newsroom