JEOL: Marktauftritt des FIB-SEM-Systems „JIB-PS500i“ mit hoher Präzision und hoher Auflösung

TOKIO--(BUSINESS WIRE)--JEOL Ltd. (TOKYO:6951) (President und CEO Izumi Oi) meldet den Marktauftritt des FIB-SEM-Systems „JIB-PS500i“ am 1. Februar 2023.

Angesichts der feineren Struktur fortschrittlicher Werkstoffe und zunehmend komplexer Prozesse erfordern Evaluierungsmethoden, wie etwa morphologische Beobachtung und elementare Analysen, eine höhere Auflösung und Präzision. Bei der Aufbereitung von Proben für Transmissionselektronenmikroskope (TEM) in der Halbleiterindustrie sowie in den Bereichen Akkus und Werkstoffe sind „höhere Präzision“ und „dünnere Proben“ notwendig.
Das Produkt ist ein Kombinationssystem aus dem FIB-System (Ionenfeinstrahlanlage), das mit hoher Genauigkeit verarbeiten kann, und dem hochauflösenden SEM (Rasterelektronenmikroskop), um diesen Anforderungen gerechtzuwerden.

Hauptmerkmale

1. Die FIB-Säule ermöglicht die Verarbeitung mit einem Hochstrom-Ga-Ionenstrahl bis zu 100 nA. Die Hochstromverarbeitung ist besonders wirksam bei der Aufbereitung von Querschnittproben für großflächige Bildgebung und Analyse. Darüber hinaus ist die FIB-Säule auf eine kürzere Arbeitsdistanz eingestellt. Zusammen mit einer neu entwickelten Stromquelle hat sie bei einer niedrigen Beschleunigungsspannung zu einer erheblich verbesserten Verarbeitungsleistung geführt.
2. Ein neu entwickeltes superkonisches Linsensystem ist in die SEM-Säule eingebaut, was die Bildauflösung bei einer niedrigen Beschleunigungsspannung stark verbessert. Die hervorragende Bildqualität ist sehr nützlich bei der Prüfung des Endpunkt-Schleifstatus von Lamellenpräparaten mittels des SEM.
3. Der JIB-PS500i verfügt über eine große Probenkammer und einen neu entwickelten Präparattisch, der den Trägerbewegungsbereich vergrößert und damit die Verarbeitung größerer Proben ermöglicht.
   Darüber hinaus ermöglicht ein neu entwickelter STEM-Detektor, der mit einem um 90 Grad geneigten Tisch genutzt werden kann, einen nahtlosen Übergang von der TEM-Probenaufbereitung zur STEM-Beobachtung.
4. Beim Betriebs-GUI kommt das „SEM-Zentrum“, das in der JSM-IT800-Serie hochauflösender Rasterelektronenmikroskope großen Anklang fand, zum Einsatz, was eine vollumfängliche Integration der EDS-Analyse ermöglicht.
5. Eine Doppelschwenkkartusche und ein spezieller TEM-Halter ermöglichen eine präzisere Ausrichtung und erleichtern den Präparattransfer zwischen TEM und FIB.

Vertriebsziel
50 Einheiten/Jahr

Produkt-URL: https://www.jeol.com/products/scientific/fib/JIB-PS500i.php

JEOL Ltd.
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokio, 196-8558, Japan
Izumi Oi, President und CEO
(Börsenkürzel: 6951, Tokyo Stock Exchange Prime Market)
www.jeol.com

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