JEOL推出高精確度和高解析度的FIB-SEM系統JIB-PS500i

東京--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)-- (美國商業資訊)--JEOL Ltd. (TOKYO:6951)（總裁兼執行長：Izumi Oi）宣布於2023年2月1日推出FIB-SEM系統JIB-PS500i。

隨著先進材料結構愈發精細化和製程愈發複雜化，形態觀察、元素分析等評價技術對解析度和精確度提出了更高的要求。在半導體產業、電池和材料領域，在為穿透式電子顯微鏡(TEM)製備樣品時需要「更高的精確度」和「更薄的樣品」。
本產品是可高精確度加工的FIB（聚焦離子束）系統和高解析度SEM（掃描式電子顯微鏡）的組合系統，可滿足上述要求。

主要特性

1. FIB鏡筒支援高達100nA的大電流鎵離子束加工。大電流加工對製備用於大面積成像和分析的截面樣品特別有效。此外，FIB鏡筒的工作距離更短。加上新開發的電源，低加速電壓下的加工性能得到極大的改善。
2. SEM鏡筒內建新開發的超級圓錐透鏡系統，大幅提高了低加速電壓下的影像解析度。這種出色的成像性能對於利用SEM檢查薄片樣品的端點研磨狀態非常有用。
3. JIB-PS500i採用了大型樣品室和新開發的樣品平臺，增加了平臺的移動範圍，因此可以容納大型樣品。
   此外，新開發的STEM偵測器可以在平臺傾斜90度時使用，支援從TEM樣品製備到STEM觀察的順暢轉換。
4. 圖形介面操作採用了在JSM-IT800系列高解析度掃描式電子顯微鏡中廣受好評的「SEM中心」，全面整合EDS分析。
5. 雙軸傾斜盒和專用TEM支架可實現更精確的對準，同時使樣品更容易在TEM和FIB之間的切換。

銷售目標
50台/年

產品URL：https://www.jeol.com/products/scientific/fib/JIB-PS500i.php

JEOL Ltd.
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan
Izumi Oi，總裁兼執行長
（股票代碼：6951，東京證券交易所主要市場）
www.jeol.com

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