JEOL : Sortie d’un nouveau microscope électronique à balayage, le JSM-IT510 Series InTouchScope™

- Données faciles à acquérir pour tous types d’échantillons -

TOKYO--(BUSINESS WIRE)--JEOL Ltd. (TOKYO : 6951) (Président et chef de l’exploitation : Izumi Oi) annonce le développement et la sortie d’un nouveau microscope électronique à balayage (scanning electron microscope, SEM), la série JSM-IT510, en novembre 2021.

Contexte du développement du produit

Les microscopes électroniques à balayage sont utilisés dans un grand nombre de domaines comme la nanotechnologie, les métaux, les semi-conducteurs, la céramique, la médecine et la biologie. En outre, les applications des SEM sont en train de se développer pour couvrir non seulement la recherche de base, mais également le contrôle de la qualité dans les sites de fabrication. Dans ce contexte, la demande pour une acquisition plus rapide et plus facile des données des images SEM et des résultats d’analyse, notamment les spectres par spectroscopie de rayons X à dispersion d’énergie (energy dispersive X-ray spectroscopy, EDS), augmente.

Afin de répondre à ce besoin et d’augmenter le débit, nous avons développé la série JSM-IT510, qui fait encore évoluer l’opérabilité de notre populaire InTouchScope™. Avec la nouvelle fonction Simple SEM, vous pouvez désormais « laisser » votre routine quotidienne (opérations répétitives) à l’instrument.

Fonctionnalités principales

1. Nouvelle fonction « Simple SEM »
   La fonction Simple SEM permet à l’utilisateur de sélectionner simplement les conditions d’acquisition et le champ de vision pour l’image SEM, puis de procéder automatiquement à acquisition de l’image SEM. Le travail de routine peut être rendu plus efficace.
2. Nouveau « détecteur d’électrons secondaire hybride à vide réduit » (Low-vacuum Hybrid Secondary Electron Detector, LHSED)
   Ce nouveau détecteur collecte à la fois des signaux d’électrons et de photons, fournissant une image au rapport signal/bruit élevé et des informations topographiques améliorées, même dans des conditions de vide réduit.
3. Intégration du microscope électronique à balayage (SEM) et du système de spectromètre à rayons X à dispersion d’énergie (EDS).
   L’intégration du SEM et de l’EDS a fait l’objet d’un développement supplémentaire et la fonction Live Map permet l’affichage en direct de la carte élémentaire du champ de vision observé.
4. Nouvelle fonction « Live 3D »
   Les images 3D peuvent être élaborées sur place pendant que l’observation SEM est effectuée pour obtenir des informations sur les irrégularités et la profondeur.
5. Fonction Live Analysis
   Le système EDS intégré offre un spectre EDS en temps réel pendant l’observation de l’image, garantissant ainsi une analyse élémentaire efficace.
6. Nouvelle fonction Stage Navigation System LS
   La nouvelle fonction Stage Navigation System LS rend possible l’acquisition d’une image optique sur une surface quatre fois plus large que celle des modèles conventionnels (200 mm x 200 mm). Cette fonction permet à l’utilisateur d’acquérir une image optique de l’échantillon observé et de se déplacer vers le champ d’observation souhaité en cliquant simplement sur l’image optique.
7. Zeromag
   Avec notre fonction Zeromag, la navigation au sein des échantillons est plus facile que jamais. L’utilisateur peut localiser diverses zones d’imagerie ou spécifier des positions d’analyse sur plusieurs champs en utilisant une image optique ou un support graphique.
8. Affichage de la profondeur caractéristique de génération de rayons X
   Cela permet de comprendre rapidement la profondeur d’analyse (référence) de l’échantillon.
9. SMILE VIEW™ Lab, qui permet la gestion intégrée des images et des données d’analyse.
   Facilite la génération rapide de rapports pour toutes les données issues des images SEM collectées et des résultats d’analyse élémentaire.

Cible de ventes
200 unités/an

URL du produit : https://www.jeol.co.jp/en/products/detail/JSM-IT510.html

JEOL Ltd.
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japon
Izumi Oi, Président et chef de l’exploitation
(Code boursier : 6951, Première section de la Bourse de Tokyo)
www.jeol.com

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