Entegris推出適用於對半導體產業至關重要的化學品輸送系統的創新解決方案

全新靜電消散(ESD)系統在減少缺陷和降低成品率損失的同時，提高安全性。

麻塞諸塞州比勒利卡--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)-- (美國商業資訊)--半導體及其他高科技產業的先進材料和製程解決方案領域的一流供應商Entegris, Inc.今日宣布推出獨特的流體管理系統，該系統可消除對於當今先進技術晶片製造不可或缺的化學品輸送系統中的靜電電荷。

過去，不銹鋼流體管理系統常用於輸送半導體製造中使用的溶劑及其他易燃化學品，現在則無法滿足當今對超低金屬雜質日益增長的需求。為此，先進技術晶片的製造商正逐步從不銹鋼系統轉向含氟聚合物(PFA)系統。儘管PFA系統可減少不銹鋼系統造成的金屬污染，但由於PFA是一種非導電的電絕緣體，因此它們帶來了與靜電放電相關的新挑戰。

Entegris先進材料處理(AMH)部流體管理副總裁Brett Reichow表示：「流經化學品輸送系統的流體中存在的靜電電荷積聚不僅會因靜電放電事件損害系統中的流體處理元件，而且可能導致矽晶片缺陷。靜電放電還會在半導體製造過程中造成不安全的狀況。」

Entegris使用新材料開發了一款解決方案，經證明，該解決方案可以成功減少流經管道的流體中積聚的靜電電荷，以及管道外可能積聚的任何電荷。Reichow表示：「Entegris創新系統的PFA管道內部具有導電條，而且管接頭由導電PFA製成，因此當密封區域接觸導電條時，管接頭可以接地。」

AMH部資深副總裁Bill Shaner表示，Entegris為高純度處理市場提供創新的連接技術逾30年，歸功於此，其開發了ESD解決方案，同時該解決方案可提高安全性和減少潛在缺陷。「我們已使用自身專有的製造設備和製程來共擠出超純PFA和導電PFA，以形成單一層。這種獨特的PFA構造可降低金屬污染，消除分層風險和潛在的包埋區域，從而保持高化學純度。這款新的解決方案可降低安全風險，並使財產損失的風險降至最低。此外，由於管是半透明的，因此可以目視檢查流經系統的流體。」

Entegris針對新系統進行的金屬提取測試的結果顯示，該系統可保持與標準PFA管相似的純度。另外，協力廠商測試公司也證實了新系統的接地性能令人滿意。

Shaner表示：「Entegris專利申請中的全新ESD系統是又一項重大創新，旨在幫助微電子業繼續朝著更清潔的化學品輸送系統發展，進而滿足先進製程節點的需求。」

關於Entegris

Entegris是微電子和其他高科技產業的特種化學品和先進材料解決方案領域的領導者。Entegris是半導體及其他高科技產業的先進材料和製程解決方案領域的一流供應商。Entegris在全球擁有約5300名員工，並已通過ISO 9001認證。公司在美國、加拿大、中國大陸、法國、德國、以色列、日本、馬來西亞、新加坡、韓國和臺灣設有製造工廠、客戶服務中心和/或研究基地。更多資訊請造訪www.entegris.com。

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