Rigaku lance XTRAIA MF-3400, un instrument de mesure pour les semi-conducteurs de nouvelle génération

La mesure de tranches de haute précision répond à la demande croissante des centres d'IA et de données

TOKYO--(BUSINESS WIRE)--Rigaku Corporation, partenaire mondial de solutions dans le domaine des systèmes d’analyse par rayons X et société du groupe Rigaku Holdings Corporation (siège social l: Akishima, Tokyo ; directeur général : Jun Kawakami ; ci-après « Rigaku ») lance le XTRAIA MF-3400, un instrument utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs pour mesurer l’épaisseur et la composition des tranches. Le XTRAIA MF-3400 améliorera considérablement la productivité sur le marché en croissance rapide des semi-conducteurs en permettant une évaluation de haute précision des matériaux essentiels à la production en série de puces mémoire de nouvelle génération et d'appareils d'IA à haut débit.

Alors que l'IA générative et les centres de données continuent de se développer, la demande augmente pour des semi-conducteurs haute performance et écoefficients capables de traiter de vastes volumes de données. Par conséquent, les structures de semi-conducteurs deviennent de plus en plus complexes, délicates et tridimensionnelles, avec une seule puce intégrant des milliards de composants électroniques microscopiques.

La production de masse stable de ces dispositifs avancés nécessite des technologies non destructives capables de mesurer et d'isoler les films métalliques avec une précision nanométrique.
Pour répondre à ce besoin, Rigaku a encore optimisé les technologies de rayons X qu'il a soutenu au fil des décennies pour développer le XTRAIA MF-3400. Parmi ses nouvelles capacités, le XTRAIA MF-3400 prend en charge la mesure du molybdène, un élément qui suscite de plus en plus d'attention en tant que matériau de nouvelle génération.

Principales caractéristiques du XTRAIA MF-3400

• Capacité de mesure jusqu'à deux fois supérieure à celle des appareils précédents
  En doublant la dose de rayons X et en intégrant un nouveau système de transport, le nombre de tranches mesurables par heure est considérablement augmenté.
• Mesure non destructive avec une précision nanométrique
  Sur un champ de seulement 50 μm, inférieur à la largeur d'un cheveu humain, le XTRAIA MF-3400 peut mesurer l'épaisseur du film avec une précision sub-nanométrique plus fine que l'épaisseur d'un atome.
• Analyses multiples sur un seul appareil
  Le XTRAIA MF-3400 intègre trois fonctions analytiques utilisant les rayons X : rayons X fluorescents, réflectance des rayons X et diffraction des rayons X. La mesure peut être automatisée en enregistrant des conditions optimales dans des recettes, adaptées à des objectifs tels que la structure, l'épaisseur ou la cristallinité d'un film ultra-mince.

Bilan et perspectives

KIOXIA Corporation et KIOXIA Iwate Corporation ont décidé de mettre le XTRAIA MF-3400 dans des lignes de production de masse pour la mémoire flash 3D NAND¹. L'appareil devrait également être utilisé dans la production de mémoire de prochaine génération, où une capacité élevée et des taux de transfert de données élevés sont essentiels et l'adoption de la production de masse est imminente.
En outre, les fabricants de DRAM² et de semi-conducteurs logiques³ devraient également adopter le XTRAIA MF-3400. Combiné à son modèle précédent, Rigaku prévoit des ventes nettes supérieures à six milliards JPY pour l'exercice 2026.

Une gamme de modules peut être choisie pour le XTRAIA MF-3400 en fonction des différentes applications. Cette flexibilité permet à chaque fabricant de construire l'environnement de mesure idéal pour ses processus de fabrication. Tirant parti de ces atouts en matière de polyvalence et d'évolutivité, Rigaku continuera à développer des applications dans de nouveaux domaines de matériaux et de procédés, visant une croissance durable de 20% par an au cours de l'exercice 2027 et au-delà pour les deux séries de modèles.

1. Support de mémoire qui utilisent une structure 3D pour atteindre une capacité élevée, une vitesse élevée et une faible consommation d'énergie
2. Dispositifs à mémoire principale volatils qui conservent temporairement des données ; le fonctionnement à grande vitesse est une caractéristique clé
3. Semi-conducteurs utilisés pour des processus tels que le calcul et le contrôle

Fiche technique du produit

https://rigaku.com/products/semiconductor-metrology/xrr-edxrf-and-optical-tools/xtraia-mf-3400?setLang=english 　

À propos de Rigaku Group

Depuis la création de l'entreprise en 1951, les ingénieurs du groupe Rigaku se consacrent à apporter des bénéfices à la société grâce à des technologies de pointe, notamment dans ses domaines clés que sont l’analyse thermique et l’analyse par rayons X. Présent dans 136 pays et régions et employant quelque 2 000 personnes dans neuf sites à travers le monde, Rigaku est un partenaire de choix pour les industries et les instituts de recherche et d’analyse. Notre chiffre d’affaires à l’international atteint environ 70%, tout en conservant une part de marché exceptionnellement élevée au Japon. Nous continuons à nous développer et à croître aux côtés de nos clients. À mesure que les applications s’étendent des semi-conducteurs, des matériaux électroniques, des batteries, de l’environnement, des ressources, de l’énergie et des sciences de la vie à d’autres domaines de haute technologie, Rigaku réalise des innovations « pour améliorer notre monde en ouvrant de nouvelles perspectives ».
Pour plus de détails, rendez-vous sur rigaku-holdings.com/english

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