世界最高水準の高精度な姿勢角・自己位置検知が可能な小型6軸慣性力センサを開発

京都--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- 株式会社村田製作所（東京：6981）（以下、「当社」）は、世界最高水準の高精度な姿勢角・自己位置検知が可能な小型６軸慣性力センサ「SCH16T-K01」（以下、「当製品」）を主に産業機器用途に向けて開発しました。すでにサンプル提供を開始しており、量産開始は2024年3月を予定しています。当製品を筆頭に、次世代6軸製品SCH16Tシリーズは今後ラインナップを拡充していく予定です。

産業用機器の高機能化に伴い、搭載される電子部品点数が増えていることから、センサパッケージの小型化が求められています。さらに産業用機器の自動運転化により、動的姿勢角^※1・自己位置を正確に取得するニーズが高まっています。センサ各軸（X軸・Y軸・Z軸）の直交性は、動的姿勢角をより正確に推定するために重要な要素で、直交性を担保するために、これまではキャリブレーションといわれる補正プロセスをユーザー側で追加する必要がありました。

そこで当社は、MEMSジャイロで世界最高水準の出力安定性と低ノイズの特徴をもつ６軸慣性力センサを開発しました。ジャイロセンサと加速度センサ各軸が直交補正された値を出力可能です。これにより、ユーザー側でのキャリブレーションプロセスが簡素化でき、製造コスト低減に貢献します。また、小型パッケージで製品化することにより、省スペースでの実装を可能にします。当製品だけで、3軸のジャイロセンサと3軸の加速度センサの直交性が担保された6DoF^※2が実現します。

※1 動的姿勢角:動作している物体の姿勢角。 ※2 6DoF(6 Degrees Of Freedom): 3次元において物体が取り得る動きの自由度のこと。

当社は今後も市場のニーズに対応した慣性力センサの開発に取り組み、産業機器の高精度化に貢献していきます。

主な特長

1. MEMSジャイロで世界最高水準のセンサ性能を実現
   ● ジャイロアラン分散（底値）　0.5deg/h 以下
   ● ジャイロノイズ　0.3 mdps/ √ Hz　 以内
   ● リニアリティ　　0.02dps(ジャイロ)　 0.06m/s^2（加速度）　※全温度範囲
2. ジャイロおよび加速度各軸の直交性を補正したセンサ出力
   軸直交性Error値　0.3deg以下　※全温度範囲
3. 当社6軸製品では最小のパッケージサイズ
   12mm x 14 mm x 3mm（長さｘ幅ｘ高さ）

主な仕様
サイズ	12mm x 14 mm x 3mm（長さｘ幅ｘ高さ）
ピン数	24pin
電圧	3.0 V～3.6 V
角速度測定範囲	±300 °/s, ±125 °/s, ±62.5 °/s
加速度測定範囲	±80m/s²　（ダイナミックレンジ： ±260m/s²以内）

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