Advanced Energy推出适用于埃米时代（Angstrom Era）的具有变革性的等离子功率控制技术

eVerest™射频发生器为sub-2 nm半导体节点交付下一代脉冲与高速响应

科罗拉多州丹佛市--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)-- 美国Advanced Energy公司（纳斯达克: AEIS）——为高度工程化精密电源转换、测量和控制解决方案的全球领导者——于今日发布下一代稳定和可重复精密射频功率电源系统，协助客户在下一代半导体制造中实现最大化的产出和收益。

设计用于提供埃米时代蚀刻和沉积工艺所需的精确等离子控制，eVerest™ 射频功率发生器能够实现高度可配置的多电平功率脉冲，从而可以集成和改进任何现有等离子功率输送系统。该平台提供3至10千瓦的输出功率和1至60兆赫的频率，并提供上至100kHz频率的高精度脉冲输出。此外，高速输出设定值响应、过渡状态之间的受控过冲以及对复杂物联网数据生态系统的访问，使制造商能够开发用于sub-2 nm沉积和蚀刻剖面的先进且可重复的工艺。

“半导体行业旨在经由日渐小型化的芯片交付更高性能，而现在正将我们带入埃米时代，其中，日渐复杂的3D结构和创新工艺可以实现原子精度级别的尺寸测量。” Advanced Energy负责等离子功率产品的高级副总裁Juergen Braun说到。“40多年来，Advanced Energy一直处于半导体行业工艺等离子功率输送和控制系统的前沿。这一领导地位经由我们的不断创新得以保持，并满足了埃米时代设备制造商对变革性高精度等离子控制的需求，继而增加了工艺窗口，拓宽了稳定的操作范围，从而实现最大化产出和收益。”

eVerest是一个完整的射频功率输送系统，具有适用于阻抗匹配解决方案的多种选择，并可与其他Advanced Energy的创新产品（例如：eVoS™偏压解决方案）实现智能同步，从而实现即时或用户定义的过渡步骤的时序控制，继而优化蚀刻和沉积动力学。eVerest的高速射频输出响应低于200µs，脉冲状态上升/下降时间低至2µs以下。动态多级脉冲控制为能量状态和分布开辟了各种新的可能性，而可编程过冲确保了可靠的点火，以及在具有较长脉冲关闭状态的过程中重建等离子的能力。

当Advanced Energy™物联网数据生态系统与PowerInsight集成时，基于eVerest的解决方案允许运营商访问高清、高带宽的嵌入式或系统级数据。该等数据提供了一种可操作的认知，支持更快、更准确的过程表征和故障排除，并能减少停机时间，且无需访问等离子室安装示波器。

有关详细产品信息和技术规范，请访问我们的网站。

关于Advanced Energy

美国Advanced Energy（纳斯达克：AEIS）是为关键应用和过程提供精密电源转换、测量和控制设计和制造解决方案的全球领导者。利用Advanced Energy的电源解决方案，客户能够在半导体设备、工业生产、医疗和生命科学、数据中心计算、网络和通信等各行业的复杂应用中实现创新。凭借广泛而深厚的专业积淀和触及全球的快速响应服务网络，AE力图通过紧密的合作关系来满足技术的快速发展、推动客户的增长并助力技术的未来。AE总部位于美国科罗拉多州丹佛市，四十年来一直致力于为全球客户提供尽善尽美的电源产品。

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