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Advanced Energy宣佈推出超寬溫度範圍的高精度、多通道感測平臺

五通道Luxtron® FluorOptic® Thermometry (FOT)平臺具有業界領先的精確度,可用於極低溫和極高溫感測

丹佛--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)-- 高度工程化精密電源轉換、測量和控制解決方案的全球領導者Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS)利用高整合轉換器平臺擴展其Luxtron® FluorOptic® Thermometry (FOT)產品系列,該平臺可以提供從極低溫度到極高溫度的高精度感測。

新型Luxtron M-1100是電漿輔助半導體沉積和蝕刻製程的理想之選,其工作溫度低至-200°C(低溫範圍的起始),高至450°C(「加熱吸盤」溫度),具有業界領先的精度(+/-0.1°C)和穩定性(+/-0.05°C)。五通道整合支援單台轉換器監測多個探頭,同時,靈活的通訊輸出簡化了數位監測、更新和系統整合。

Advanced Energy副總裁兼關鍵感測和控制產品總經理Dhaval Dhayatkar表示:「隨著半導體製造商尋求符合下一代製程的複雜蝕刻和沉積要求,在擴展的溫度範圍內進行精確監測至關重要。Luxtron M-1100進一步擴大了我們在高精度、磷光體光纖測溫方面的領先地位,並且符合客戶的需求,可盡量減少測量支出並支援監測和控制系統的整合。」

利用光纖探針和磷光體感測器技術,Luxtron FOT感測系統結合高效能轉換器與先進的光源、光電探測器專有軟體演算法和低雜訊放大電路。Luxtron M-1100是第一款同時提供類比和EtherCAT通訊介面的產品型號。

新型轉換器可用壁掛式安裝在被監控的系統一側,簡化其實施作業。在Advanced Energy全球工程團隊的支援下,用戶體驗得以進一步提升。這些團隊與原始設備製造商合作,為尖端應用開發訂製型探針。

有關詳細產品資訊和技術規格,請瀏覽我們的網站

Luxtron M-1100將於7月11日至13日在加州舊金山莫斯康展覽中心舉行的2023 年美國SEMICON West展AE 960攤位上展出。點選此處瞭解更多資訊。

關於Advanced Energy

Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS)是為任務關鍵型應用和製程設計和製造高度工程化精密電源轉換、測量和控制解決方案的全球領導者。Advanced Energy的電源解決方案使客戶能夠在半導體設備、工業生產、醫療和生命科學、資料中心運算、網路和通訊等廣泛產業的複雜應用中進行創新。憑藉工程專業知識和為全球客戶提供快速回應服務和支援,該公司建立緊密的合作夥伴關係以因應科技的快速發展、推動客戶的成長並為電源產品的未來持續創新。Advanced Energy總部位於美國科羅拉多州丹佛市,四十年來一直致力於提供盡善盡美的電源產品。

如欲瞭解更多資訊,請造訪www.advancedenergy.com

Advanced Energy | Precision. Power. Performance. Trust.

免責聲明:本公告之原文版本乃官方授權版本。譯文僅供方便瞭解之用,煩請參照原文,原文版本乃唯一具法律效力之版本。

Contacts

Simon Flatt
Grand Bridges(代表Advanced Energy Industries, Inc.)
aei@grandbridges.com
+1 415 800 4529

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