Advanced Energyが広温度範囲を誇る高精度かつマルチチャンネル対応のセンシングプラットフォームを発表

業界最高の精度を持つ5チャンネルのLuxtron^® FluorOptic^®検温（FOT）プラットフォームが極低温と高温のセンシングを実現

コロラド州デンバー--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- 高度な技術を駆使した高精度な電力変換、測定、制御のソリューションを設計製造する世界的企業、Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS)は、Luxtron^® FluorOptic^®温度計（FOT）製品ファミリーへ豊富な機能を誇るコンバーターのプラットフォームを追加して拡張し、極低温から高温まで、高精度なセンシング手法を提供します。

プラズマ型の半導体蒸着とエッチングの製造工程に最適な新型のLuxtron M-1100は、極低温が始まる-200°Cから、450°Cの高温での静電チャックまで、業界最高の精度、+/- 0.1°Cと+/- 0.05°Cの安定性を提供します。5チャンネルを統合するため、一台のコンバーターから複数のプローブによる測定温度をモニタリングできます。各種通信方式に対応しているのでデジタルでのモニタリング、アップデート、システム統合が容易に行えます。

Advanced Energyでクリティカルセンシングと制御製品を担当するバイスプレジデント兼ジェネラルマネージャー、Dhaval Dhayatkarはこう述べます。「半導体メーカーは次世代製造工程に必要とされる複雑なエッチングと蒸着の要件を満たそうとしており、温度範囲を広げて正確にモニタリングすることが不可欠となっています。Luxtron M-1100は、高精度な蛍光体ベースの光ファイバー式温度計分野における当社の主導的な地位をさらに確固たるものにし、測定の手間を最小限に抑えてモニタリングと制御システムへの統合を求める顧客の要件に応えます。

蛍光体センサー技術を搭載した光ファイバープローブを駆使し、Luxtron FOTセンシングシステムは高性能のコンバーターを最新型の光源、独自の光検出ソフトウェアアルゴリズム、低ノイズの増幅回路と組み合わせています。Luxtron M-1100は、アナログとEtherCATの通信インターフェース両方を提供する初のモデルです。

新型のコンバーターは監視対象のシステムの側で壁に取付けることが可能なため、簡単に設置できます。装置メーカーと協力して最先端のエッジアプリケーション用にカスタムプローブを開発するAdvanced Engineeringのグローバルエンジニアリング部門から支援を得て、ユーザー経験をさらに強化しています。

詳細な製品情報と技術仕様については、当社ウェブサイトをご覧ください。

Advanced Energyについて

Advanced Energy Industries, Inc.(Nasdaq: AEIS)は、ミッションクリティカルなアプリケーションとプロセスに使用される、高度な技術を駆使した高精度な電力変換、測定、制御のソリューションを設計製造する、世界的企業です。Advanced Energyの電源ソリューションを使用して、顧客は半導体設備、産業製造、医療とライフサイエンス、データセンターのコンピューティング、ネットワークと通信など、多種多様な産業における複雑なアプリケーションで、イノベーションを実現できます。専門技術のノウハウを蓄積して、世界中で素早くサービスとサポートを顧客へ供給する体制を整え、当社は顧客との協力的な関係を維持して技術革新を果たし、顧客の成長を支援して、電源の未来へ向けイノベーションを生み出します。Advanced Energyは世界中の顧客へ40年にわたり、最高の電源ソリューションを提供することに取り組んでおり、本社は米国コロラド州のデンバーに所在します。

その他の情報は、www.advancedenergy.comをご覧ください。

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