Gigaphoton出貨最新機型KrF光源「G60K」

睽違15年全面改造實現功率提升1.5倍

栃木縣小山市--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)-- (美國商業資訊)--2020年11月4日，半導體微影光源製造商Gigaphoton株式會社（總公司: 栃木縣小山市；董事長：浦中克己）公佈10月29日已出貨新型KrF用光源「G60K」。

新型KrF用光源「G60K」在進行睽違約15年的全面改造並導入新型電源元件後，成功使得既有機型功率提升約1.5倍達到60W。此外，機身採用兼具擴張性的新型平台，可對應高頻化等KrF光源未來的性能提升需求。

既有KrF光源儘管在輸出功率提升後雖能增加產出，但因模組更換頻率的提高導致停機時間增加，進而造成運作率下降的兩難困境。然而「G60K」採用新技術後，不會增加停機時間即達到相同輸出功率，同時兼具高輸出功率與高產出的目標，最終實現在高曝光層下的最大產出。

Gigaphoton董事長兼CEO浦中克己表示：「Gigaphoton的KrF光源是集結本公司技術及經驗所成就的產品，長期以來深獲顧客極高評價，我相信這次睽違15年重新進行全面改造的G60K，勢必能夠提升現場運作率，進一步提高顧客產能才是。Gigaphoton今後也將持續提供各項具備產能最大化的產品及服務。」

關於GIGAPHOTON

2000年成立以來，GIGAPHOTON作為雷射光源製造供應商，不斷提供具有價值且高度整合方案給全球半導體廠商。GIGAPHOTON從研究開發以至製造・銷售・保修服務的所有環節，將承諾秉持著客戶導向的精神，堅持業界最高水準的技術服務持續邁進。詳細資訊請參閱網站https://www.gigaphoton.com/ct/。