用於先進封裝的Gigaphoton準分子雷射已於日本公司完成安裝

日本小山--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)-- Gigaphoton Inc.(總公司：櫪木縣小山市；總裁暨執行長：Tatsuo Enami)，一家半導體微影光源製造商，宣布其已向一家從事先進半導體研發的日本公司交付用於半導體先進封裝的準分子雷射，該系統已於今年十一月成功完成安裝。

Gigaphoton已應用其在半導體微影光源領域的專業技術，開發出用於先進封裝製程的超精細燒蝕加工光源。

G300K是一款基於KrF (248nm)波長的準分子雷射，被整合應用於半導體封裝基板的加工設備中。它提供高功率、高重複率、高可靠性及長壽命模組。此準分子雷射主要用於製作直徑10μm以下的微孔以及溝槽圖案。預計將應用於採用小晶片的2.5D/3D封裝製造，此類封裝需求預計將增長，並主要用於人工智慧晶片組。

Gigaphoton的G300K準分子雷射已整合至由ORC MANUFACTURING CO., LTD.所製造的加工設備中。
相關製程成果與具體產出，將於2025年12月17日起，在SEMICON Japan 2025同期舉辦的展會中展出。

Gigaphoton總裁暨執行長Tatsuo Enami表示：「在Gigaphoton，我們除了研發半導體微影光源之外，也持續探索準分子雷射在其他應用領域的各種可能性。
我們將持續加速研發腳步，以拓展至新的領域。
身為半導體製造產業中關鍵的光源製造商，我們將透過持續研發新製程，進一步推動準分子雷射的應用，持續為產業做出貢獻。」

關於GIGAPHOTON

GIGAPHOTON成立於2000年，做為一家半導體微影光源製造商，自成立以來一直為全球的半導體製造商提供有價值的解決方案。從研發到生產、銷售及維護服務的每個階段，GIGAPHOTON均致力於從日常用戶的角度出發，為其提供世界一流的支援。如欲瞭解更多資訊，請造訪https://gigaphoton.com/

免責聲明：本公告之原文版本乃官方授權版本。譯文僅供方便瞭解之用，煩請參照原文，原文版本乃唯一具法律效力之版本。