村田製作所：業界トップクラス、長期使用時のセンサ出力変動値を0.5mg以下に抑えた産業機器向けデジタル3軸MEMS加速度センサSCA3400シリーズを開発

• 業界トップクラスであるオフセットライフタイムドリフトが0.5mg以下。
• 低ノイズで微細な動きも正確に検知。
• 振動や温度変化に強く、過酷な環境でも安定して動作可能。
• センサ状態を常時監視する自己診断機能搭載。
• 当社従来品と同じサイズ・出力方式であるため、お客様での追加設計工数を削減可能。

京都--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- 株式会社村田製作所‐（東京：6981）（以下、「当社」）は、長期使用時のセンサ出力変動値（オフセットライフタイムドリフト^※1）が0.5mg（ミリ重力加速度）以下と業界トップクラス^※2の性能を持つ産業機器向けデジタル3軸MEMS^※3加速度センサ「SCA3400シリーズ（以下、当製品）」を開発しました。当製品は高い耐久性を備えており、橋梁や建物といった構造物の劣化をセンシングする構造物ヘルスモニタリングなどの用途において装置の信頼性向上に貢献します。量産開始は2025年10月を予定しています。

※1 オフセットライフタイムドリフト：センサの使用期間にともなって出力値にずれ（ドリフト）が生じること。値が高いとずれが大きいことを表す。
※2 当社調べ。2025年6月23日時点。
※3 MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）: 微小電子機械システム。シリコンウェハーなどを微細加工することで、センサ構造や電子回路などを作製する技術。

産業機器のデジタル化により、自動で構造物や機械設備などの異常や損傷を早期に検知し、予知保全を行うニーズが高まっています。これらを自動化する方法の一つとして、センサによる動作検知が挙げられます。特に、橋梁や建物などの劣化をセンシングする構造物ヘルスモニタリングでは、長期間の監視が不可欠となっています。そのため、構造物の形状の微細なひずみや変化を正確に捉える加速度センサの性能が、構造物ヘルスモニタリングのシステム全体の信頼性に大きく影響します。しかし、従来の微小な傾斜を検知する高精度な加速度センサは、オフセットライフタイムドリフトの値が高く、使用期間が長くなると基準位置のずれが大きくなってしまい、構造物の劣化を正確にセンシングできない課題がありました。

そこで当社は、独自のMEMSプロセスと最新の回路設計により、微小な傾斜検知が可能かつオフセットライフタイムドリフトの値が0.5mg以下の当製品を開発しました。これにより、構造物ヘルスモニタリングなどで使用されるシステムの長期的な高精度測定に貢献します。当製品は、振動や温度変化に強いため、過酷な環境で使用される産業機器においても、長期間使用できます。

当社は今後も高精度な加速度センサの開発に取り組み、多様な市場ニーズに貢献していきます。

主な特長

• 業界トップクラスであるオフセットライフタイムドリフトが0.5mg以下。
• 低ノイズで微細な動きも正確に検知。
• 振動や温度変化に強く、過酷な環境でも安定して動作可能。
• センサ状態を常時監視する自己診断機能搭載。
• 当社従来品と同じサイズ・出力方式であるため、お客様での追加設計工数を削減可能。

主な仕様

サイズ (l × w × h)	8.6 x 7.6 x 3.3 mm
動作保証温度範囲	-40℃ ~ +85°C
加速度測定範囲	±1.2g, ±2.4g (選択可能)
感度	15,000 LSB/g
ノイズ密度	20 µg/√Hz
オフセットライフタイムドリフト　(Typ)	≤ 0.5mg (X,Y), ≤ 2mg (Z)
感度ライフタイムドリフト　(Typ)	±0.02 % (X,Y), ±0.2% (Z)

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村田製作所について

村田製作所はセラミックスをベースとした電子部品の開発・生産・販売を行っている世界的な総合電子部品メーカーです。独自に開発、蓄積している材料開発、プロセス開発、商品設計、生産技術、それらをサポートするソフトウェアや分析・評価などの技術基盤で独創的な製品を創出し、エレクトロニクス社会の発展に貢献していきます。