日本电子株式会社:推出新型肖特基场发射(FE)扫描电子显微镜JSM-F100

―全新级别的智能分析场发射扫描电子显微镜(FE-SEM),兼具高分辨率和强大的可操作性―

JSM-F100 (Photo: Business Wire)

东京--()--(美国商业资讯)--日本电子株式会社(JEOL Ltd.) (TOKYO:6951) (www.jeol.com)(总裁兼首席运营官:大井泉)宣布,将于2019年8月推出新型肖特基(Schottky)场发射扫描电子显微镜JSM-F100。

https://www.jeol.co.jp/en/news/detail/20190804.3456.html

背景

扫描电子显微镜(SEM)应用于不同的领域:纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等。随着应用范围的扩大,SEM用户需要快速、高质量的数据采集及简单的组成信息确认和无缝操作。

JSM-F100搭载我们备受推崇的浸没式(In-lens)肖特基Plus场发射电子枪和"Neo Engine"(电子光学控制系统),以及全新的GUI "SEM Center"和创新的“实时图像视觉增强器-人工智能(LIVE-AI)滤镜”,实现了高空间分辨率成像和可操作性的最优组合。此外,标配的JEOL能量色散型X射线光谱仪(EDS)完全整合于"SEM Center"内,可实现从图像到元素分析结果的无缝采集。JSM-F100提供卓越的工作效率,高出我们之前的JSM-7000系列50%或以上,实现了生产量的显著提高。

特性

  1. 浸没式肖特基Plus场发射电子枪
    电子枪与低像差聚光透镜的进一步整合带来更高的亮度。低加速电压下具有足够的探头电流,支持从高分辨率成像到高速元素映射的各种功能。
  2. 混合式透镜(HL)
    混合式透镜(HL)将静电场镜和磁场透镜相结合,支持各种样品的高空间分辨率成像和分析。
  3. Neo Engine(新型电子光学引擎)
    Neo Engine是一款先进的电子光学控制系统,可显著提高自动化功能的精确度和可操作性。
  4. "SEM Center"新功能
    全新GUI "SEM Center"全面整合SEM成像和EDS分析,提供借助FE-SEM实现的下一代可操作性和高分辨率图像。
  5. "Zeromag"新功能
    整合的"Zeromag"可实现从光学成像到SEM成像的无缝过渡,让定位目标样品区域变得十分轻松。
  6. 全新LIVE-AI滤镜*
    通过利用人工智能(AI)功能,整合的LIVE-AI滤镜可以提供更高质量的实时图像。与图像融合处理不同,这款新的滤镜能够显示无缝移动的实时图像,无残留图像,对于快速搜索观察区域、对焦和消像散器调整十分有效。
    *选配

规格

分辨率(1 kV)

1.3纳米

分辨率(20 kV)

0.9纳米

加速电压

0.01至30 kV

标准检测器

高位电子检测器(UED),二次电子检测器(SED)

电子枪

浸没式肖特基Plus场发射电子枪

探头电流

几pA至300 nA (30 kV)
几pA至100 nA (5 kV)

物镜

混合式透镜(HL)

样品台

全优中心(eucentric)测角仪样品台

样品移动

X轴:70毫米,Y轴:50毫米,Z轴:2至41毫米
倾斜: –5至70°,旋转:360°

EDS检测器

能量分辨率:133 eV或更低
可检测元素:B(硼)至U(铀)
检测面积:60平方毫米

目标年销量

60台/年

日本电子株式会社
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan
大井泉,总裁兼首席运营官
(股票代码:6951,东京证券交易所第一部)
www.jeol.com

免责声明:本公告之原文版本乃官方授权版本。译文仅供方便了解之用,烦请参照原文,原文版本乃唯一具法律效力之版本。

Contacts

日本电子株式会社
科学与测量仪器销售部
Kazunori Kitazumi
+81-3-6262-3567
https://www.jeol.co.jp/en/support/support_system/contact_products.html

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