JEOL : Lancement d’un nouveau microscope électronique à balayage à effet de champ (Field Emission, FE) de Schottky, le JSM-F100

― Le prochain niveau d’intelligence analytique en MEB-FE offrant une haute résolution combinée à l’opérabilité ―

JSM-F100 (Photo: Business Wire)

TOKYO--()--JEOL Ltd. (TOKYO : 6951) (www.jeol.com) (Président et directeur d’exploitation, Izumi Oi) annonce le lancement d’un nouveau microscope électronique à balayage, à effet de champ de Schottky, le JSM-F100, en août 2019.

https://www.jeol.co.jp/en/news/detail/20190804.3456.html

Contexte

Les microscopes électroniques à balayage (MEB) sont utilisés dans divers domaines comme la nanotechnologie, les métaux, les semiconducteurs, la céramique, la médecine et la biologie. Avec l’expansion des applications, les utilisateurs de MEB nécessitent une acquisition des données, rapide et de haute qualité, ainsi qu’une confirmation des informations, simple et compositionnelle à fonctionnement transparent.

Le JSM-F100 incorpore notre canon à électrons dans la lentille Schottky Plus FE et notre « moteur Neo » (système de contrôle optique à électrons) dont la réputation n’est plus à faire, ainsi qu’un nouveau « Centre MEB » GUI et un filtre innovant « LIVE-AI (amplificateur visuel d’images en direct - Intelligence artificielle) ». Ceci assure une combinaison optimale d’imagerie à haute résolution spatiale et d’opérabilité. De plus, un spectromètre à rayons X à dispersion d’énergie (EDS) JEOL standard est entièrement intégré au « Centre MEB », permettant une acquisition transparente, depuis les images jusqu’aux résultats d’analyse élémentaire. Le JSM-F100 assure un excellent rendement, supérieur d’au moins 50 % à celui de notre série précédente, JSM-7000, et réalise ainsi une hausse spectaculaire de débit.

Fonctionnalités

  1. Canon à électrons dans la lentille Schottky Plus FE
    L’intégration améliorée du canon à électrons et de la lentille de condenseur à faible aberration assure une brillance supérieure. L’ample courant de sonde, à basse tension d’accélération prend en charge diverses capacités, depuis l’imagerie haute résolution jusqu’au mappage élémentaire à haute vitesse.
  2. Lentille hybride (HL)
    La lentille hybride (HL), combinant lentille à champ électrostatique et magnétique, prend en charge une imagerie et analyse spatiales haute résolution de divers spécimens.
  3. Moteur Neo (New Electron Optical Engine, nouveau moteur optique électronique)
    Le moteur Neo, un système de contrôle optique électronique, de pointe améliore considérablement la précision des fonctions automatiques et de l’opérabilité.
  4. Nouvelle fonction de « Centre MEB »
    Une nouvelle opération de « Centre MEB » GUI intègre totalement l’imagerie MEB et l’analyse EDS, assurant une opérabilité nouvelle génération et des images haute résolution obtenues avec le MEB-FE.
  5. Nouvelle fonction « Zeromag »
    « Zeromag », incorporé pour une transition transparente de l’imagerie optique à l’imagerie MEB, facilite la localisation de la zone du spécimen cible.
  6. Nouveau filtre LIVE-AI*
    Le filtre LIVE-AI, qui fait appel à la capacité de l’intelligence artificielle (IA), est incorporé pour une meilleure qualité d’images en direct. À la différence du traitement d’intégration d’image, ce nouveau filtre présente en toute transparence une image animée en direct sans image résiduelle, offrant ainsi une grande efficacité pour la recherche rapide de zones d’observation, la mise au point et le réglage du stigmateur.
    *en option

Spécifications

Résolution (1 kV)

1,3 nm

Résolution (20 kV)

0,9 nm

Tension d’accélération

0,01 à 30 kV

Détecteurs standard

Détecteur supérieur d’électrons (UED), Détecteur d’électrons secondaires (SED)

Canon à électrons

Canon à électrons dans la lentille Schottky Plus FE

Courant de sonde

De quelques pA à 300 nA (30 kV)
De quelques pA à 100 nA (5 kV)

Lentille d’objectif

Lentille hybride (HL)

Platine de spécimen

Platine complète goniométrique et eucentrique

Mouvement de spécimen

X : 70 mm, Y : 50 mm, Z : De 2 à 41 mm
Inclinaison : –5 à 70°, Rotation : 360°

Détecteur EDS

Résolution en énergie : 133 eV ou moins
Éléments détectables : B (boron) à U (uranium)
Zone de détection : 60 mm2

Cible de vente d’unités annuelle

60 unités par an

JEOL Ltd.
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japon
Izumi Oi, Président et directeur d’exploitation
(Code boursier :6951, Première section de la Bourse de Tokyo)
www.jeol.com

Le texte du communiqué issu d’une traduction ne doit d’aucune manière être considéré comme officiel. La seule version du communiqué qui fasse foi est celle du communiqué dans sa langue d’origine. La traduction devra toujours être confrontée au texte source, qui fera jurisprudence.

Contacts

JEOL Ltd.
Division de la vente des instruments de science et de mesure
Kazunori Kitazumi
+81-3-6262-3567
https://www.jeol.co.jp/en/support/support_system/contact_products.html

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