日本京都--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)--SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd. (SCREEN)計畫於今年在IBM Research (IBM)奧巴尼奈米科技半導體研究中心安裝本公司三組關鍵工具之中的第一組。SCREEN單晶圓清洗、雷射退火和塗層/塗膠顯影設備套件將為IBM的先進半導體技術研究提供支援，並補足其位於紐約州奧巴尼市的EUV卓越中心的工具元件。
IBM Research半導體團隊副總裁Mukesh Khare表示：「IBM致力於積極研究議程，旨在實現半導體技術的突破。為了滿足未來雲端運算和認知系統的需求，材料、製程和元件結構方面的創新對加快技術研究極為重要。」
SCREEN Semiconductor Solutions總裁Tadahiro Suhara指出：「我們非常高興IBM在研究先進邏輯半導體時選擇了我們。對我們而言，這證明了公司的SCREEN設備、技術和資源在濕式清洗、熱處理和塗層/塗膠顯影等多個領域帶給先進半導體製程研發的價值。」
將為IBM安裝的SCREEN三組設備中的第一組為Aquaspin SU-3200，該設備設計用於在包括7nm及以上的先進節點半導體製造領域開發高選擇性、無殘膠、無損傷濕式清洗製程應用。IBM還將利用來自SCREEN位於法國的子公司Laser Systems and Solutions of Europe (LASSE)的LT-3100系統評估奈秒級紫外雷射退火應用，包括熔漿活化和臨界層再結晶。根據所取得的良好效果，我們預計IBM將整合DT-3000 DUO Track系統，利用UV卓越中心的微影工具元件推動定向自組裝(DSA)、旋塗式介電材料(SOD)和墊底層塗布等技術的發展。
這三組全新的SCREEN工具預計將在年底前交付給IBM Research位於紐約州立大學理工學院的奈米科學與工程學院(CNSE)內的奧巴尼奈米科技無塵室。交付給IBM的這套300mm晶圓設備將拓展SCREEN在奧巴尼的影響力。
關於IBM Research
70餘年來，憑藉遍佈六大洲的13大實驗室及逾3,000名研究人員，IBM Research一直定義著資訊技術的未來。IBM
Research的科學家們當中已誕生六位諾貝爾獎得主、十位美國國家科技獎章得主、五位美國國家科學獎章得主、六位圖靈獎得主，並且有19位科學家進入美國國家科學院，19位科學家進入美國發明家名人堂。
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關於SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd.
SCREEN Semiconductor Solutions為 SCREEN Holdings集團旗下子公司，該公司從其前身Dainippon
Screen繼承了半導體設備業務。SCREEN是一家專業製造商，業務遍及晶圓清洗設備、微影設備和熱處理等各個領域，是半導體製造業全球前十大設備供應商之一。
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