日本栃木縣小山市--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)--半導體微影光源的主要供應商Gigaphoton株式會社（母公司：栃木縣小山市，董事長：浦中克己）發布公告指出，公司1月份已經向客戶供應最新半導體產品以滿足近年來不斷高漲的需求，適用於最先進的浸潤式漏光（微影）裝置的ArF準分子雷射器GT65A 1號機。GT65A改善了雷射器的穩定稼動性能及製程範圍，為提高微影裝置的生產力做出了極大貢獻。
GT65A最多可縮短50%的中斷時間，這一特徵是透過將作為主要模組的腔體壽命延長30%，並以Gigaphoton迄今為止累積的經驗和技術為基礎，提高維修效率而實現的。
另外，具有光譜控制功能的穩定化技術eMPL Solid，以及控制功能hMPL提高了CD的均一性，並且最佳化製程，使延展性成為可能。
同時，GT65A實現了不使用氦氣的目標，這不僅減輕了環境負荷，而且大幅度降低了未來氦氣供給不足以及價格飛漲的風險，為客戶提高環境永續發展及CRS活動做出了貢獻。
Gigaphoton董事長浦中克己發表評論說：「近年來半導體市場發展良好，提高微影裝置的稼動率成為各廠商的重要課題。我們將沿著新技術藍圖RAM Enhancement，採用新技術，進一步強化並改善微影光源的可靠性（Reliability）、稼動率（Availability）、維修效率（Maintainability），為半導體製造業做出貢獻。」
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Gigaphoton公司簡介
Gigaphoton公司成立於2000年，作為一家雷射器的供應商，自成立以來一直為全球的半導體生產廠商提供有價值的解決方案。Gigaphoton時刻以客戶為中心，從產品研發到生產、銷售及維護，為用戶提供業界最高水準的支援。更為詳細的介紹請造訪：www.gigaphoton.com。
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