KYOTO, Japon--(BUSINESS WIRE)--SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd. (SCREEN) se prépare à installer cette année son premier de trois ensembles d'outils clés au Centre de recherche en nanotechnologie et semi-conducteurs d'IBM Research situé à Albany. Assurant le nettoyage de plaquette unique, de recuit laser et le revêtement/développement de piste, les technologies de SCREEN vont soutenir la recherche avancée en semi-conducteurs d'IBM, et compléter la panoplie d'outils du centre d'excellence EUV installé à Albany, État de New York.
« IBM poursuit un programme de recherche agressif qui repousse les limites de la technologie des semi-conducteurs », a déclaré Mukesh Khare, vice-président du Semiconductor Group d'IBM Research. « Des innovations en matière de matériaux, de processus et de structures de dispositifs sont essentielles pour accélérer la recherche technologique et répondre aux futures exigences de l'informatique dématérialisée et des systèmes cognitifs. »
« Nous sommes très heureux d'avoir été sélectionnés par IBM dans leurs recherches sur les semi-conducteurs logiques avancés », a souligné Tadahiro Suhara, président de SCREEN Semiconductor Solutions. « Pour nous, cela confirme la valeur qu'apportent nos technologies et ressources d'équipement SCREEN au perfectionnement des processus de fabrication des semi-conducteurs, et ce dans de multiples domaines : nettoyage humide, recuit thermique, et revêtement/développement de piste. »
La première des trois installations SCREEN prévues pour IBM sera l'Aquaspin SU-3200 qui a été conçu pour développer des applications de nettoyage hautement sélectives, sans résidu ni avarie, pour fabriquer les semi-conducteurs destinés aux nœuds avancés, notamment ceux de 7 nm et au-delà. IBM va également évaluer les applications nano de recuit laser UV, y compris l'activation de fusion et de recristallisation des couches critiques, avec la livraison du système LT-3100 de Laser Systems et des solutions de LASSE, la succursale européenne de SCREEN basée en France. Nous prévoyons des résultats favorables qui permettront à IBM d'intégrer le système double piste DT-3000 DUO afin de perfectionner les processus d'auto-assemblage dirigé (DSA, Directed Self-Assembly), de rotation diélectrique (SOD, Spin-On Dielectrics) et de revêtements sous couche grâce aux appareils lithographiques de mise en forme du centre d'excellence EUV.
Ces trois nouvelles panoplies d'outils SCREEN devraient être livrées avant la fin de l'année aux salles de nettoyage du Centre de nanotechnologie d'IBM Research, à Albany, situé sur le campus Colleges of Nanoscale Science and Engineering (CNSE) de l'Institut polytechnique de SUNY. Ces appareils conçus pour les plaquettes de 300 mm d'IBM vont renforcer la présence de SCREEN à Albany.
À propos d'IBM Research
Depuis plus de sept décennies, IBM Research définit l'avenir des
technologies de l'information avec plus de 3 000 chercheurs dans
13 laboratoires situés sur les six continents. Les scientifiques d'IBM
Research comptent à leur actif les distinctions suivantes : six Prix
Nobel, dix médailles américaines de technologie, cinq médailles
américaines des sciences, six prix Turing, 19 lauréats de l'Académie
nationale des sciences et 19 personnes intronisées à l'US National
Inventors Hall of Fame.
Pour plus d'informations sur IBM Research,
consultez le sitewww.ibm.com/research.
À propos de SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd.
SCREEN Semiconductor Solutions a été établie comme société du groupe
SCREEN Holdings en acquérant l'activité en semi-conducteurs de son
prédécesseur, Dainippon Screen. Fabricant spécialisé dans les
équipements de nettoyage de plaquette, de lithographie et de recuits
thermiques, SCREEN est l'un des 10 meilleurs fournisseurs d'équipement
du secteur mondial de la fabrication des semi-conducteurs.
Pour
plus d'informations, consultez le site www.screen.co.jp/eng/spe.
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