浜松--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- 浜松ホトニクス株式会社（東証：6965）は、従来の近赤外CCDカメラに比べて、より高感度(900nmにおいて2倍以上)を実現したCCDカメラ「C3077-80」を開発しました。国内、東アジア市場を中心に、Siウェハ貼り合わせ装置、ダイボンダなどの半導体装置メーカに販売していきます。本日（4/22）より販売を開始します。（定価：350,000円
税抜き）
また、6月に開催される画像センシング展2014（6/11～/13、パシフィコ横浜）に出展いたします。
これまで、Siウェハの張り合わせを行う場合のウェハ位置合わせや、Siデバイス（フリップチップ等）の内部観察に、近赤外CCDカメラが使われてきました。しかし、最近パワーデバイス等に使用される低抵抗ウェハが増加し、従来の近赤外CCDでは、観察が難しくなってきました。そこで、浜松ホトニクスは、近赤外感度を向上させ、低抵抗ウェハに対応した近赤外CCDカメラ「C3077-80」を開発しました。今後市場の拡大が期待される三次元実装ICの組み立て等にも、応用が期待されます。
C3077-80は、高安定・高信頼性・互換性を重視し、半導体製造装置の画像入力に使用されるEIA出力を採用していますので、従来装置に組み込んでそのままご利用いただくことができます。
浜松ホトニクスは、自社製検出素子（CCD）を用い、素子の性能を十分に引き出す回路設計、最適化したトータル設計により高感度・高信頼性の近赤外CCDカメラを提供しています。
【主な特長】
高感度
当社独自開発の検出素子（CCD）を採用し、波長900
nmにおいて従来カメラより２倍以上（当社比）の高い感度を実現しています。パワーデバイス等に使用される低抵抗ウェハでは、近赤外光の透過率が低く、観察を行うためには、より高感度のカメラが求められており、C3077-80は、その要求に答えます。
高信頼インターフェース
半導体製造・検査装置には、高い安定性・信頼性が求められます。C3077-80は、映像出力に従来から実績があるEIA出力を採用しています。
【価格】
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標準構成：350,000円（税抜） / 378,000円（税込）
（構成品：カメラヘッド）
【発売開始】 2014年4月22日
【販売目標】 200台/1年目、500台/3年目
【浜松ホトニクス】
浜松ホトニクスは、光の技術集団として、光の基礎研究と各種光関連製品の開発・製造・販売を行っています。
代表的な取り扱い製品として、光電子増倍管やフォトダイオードをはじめとする光検出器、レーザやLEDをはじめとする光源、そして光検出器をキーコンポーネントとしたカメラや画像解析装置・光計測装置などがあります。また、光の本質に迫る研究に加え、光技術の産業応用に様々視点から取り組んでいます。
