日本栃木縣小山市--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)--半導體微影光源的主要供應商Gigaphoton株式會社（總部：栃木縣小山市，社長：浦中克己）宣布，為提高設備的稼動率，公司將制定新的產品規劃藍圖，以因應需求量不斷高漲的半導體廠商的要求。
Gigaphoton此次制定的產品規劃藍圖RAM Enhancement加強了DUV光源準分子雷射器的可靠性（Reliability）、可用性（Availability）以及可維護性（Maintainability）。公司已經開始行動，將在2020年前打破被業界定位為極限的「稼動率99.8%的壁壘」。
在半導體晶片生產中，微影製程的稼動率是最大的影響要素。因此，為最大限度地提高設備的稼動率，必須保證「長期穩定的工作」，以及「最短的維護時間」。Gigaphoton為解決這些問題，將延長模組壽命，派遣現場工程師提高設備的服務效能，實現盡可能不停止設備運轉的維護。
首先，為保證「長期穩定的工作」，將最新ArF浸潤式微影裝置的主要模組，包括腔體（AMP
CH）、窄頻模組（LNM）、監控模組（MM）的壽命分別延長到120Bpls。其次，為實現「最短的維護時間」，將追加裝置壽命預測及維護時間點的自動計算軟體。
透過這一系列的措施，截止2020年，所有客戶的必要維護次數將降低到每年一次，模組更換時間減少到原來的一半，可望打破稼動率99.8%的壁壘。（假定記憶體晶片廠商的脈衝使用量為每年60Bpls。）
Gigaphoton社長 浦中克已評論指出：「由於近年來半導體晶片的需求量高，半導體生產設備的稼動率愈發重要。我們推行的產品規劃RAM Enhancement就是為滿足這樣的客戶需求而制定的。今後，Gigaphoton也將結合客戶需求和市場動向，繼續提供最合適的解決方案。」
Gigaphoton公司簡介
Gigaphoton公司成立於2000年，作為一家雷射器的供應商，自成立以來一直為全球的半導體生產廠商提供有價值的解決方案。Gigaphoton時刻以客戶為中心，從產品研發到生產、銷售及維護，為用戶提供業界最高水準的支援。更為詳細的介紹請您造訪：www.gigaphoton.com。
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