TOKYO--(BUSINESS WIRE)--USHIO INC. (TOKYO : 6925) (président et chef de la direction : Shiro Sugata) a annoncé aujourd'hui que la société avait reçu une commande pour son système UX4 pleine plaque, un procédé de lithographie optique par projection. La commande provient d'un institut de recherche allemand, le CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH (ci-après CiS), par l'intermédiaire de sa filiale en propriété exclusive USHIO EUROPE B.V. Le système UX4, qui est optimisé pour la recherche et le développement ainsi que pour la fabrication de dispositifs MEMS, devrait être livré à CiS en novembre.
Le système UX4 utilise un outil de lithographie optique par projection pleine plaque entièrement sans contact, ce qui élimine tout dommage pour le masque ou la plaquette, et permet une exposition haute précision des substrats en gradins ou de la résine photosensible épaisse. Dans sa Série UX4, USHIO a mis au point des systèmes UX4 personnalisés pour divers dispositifs, notamment les MEMS et les appareils électriques. Le système UX4 offre une série de puissantes fonctionnalités telles qu'une technologie exclusive d'alignement qui permet de détecter aisément des repères d'alignement de faible visibilité, une projection simultanée sur les deux faces d'une plaquette pour améliorer la productivité, une capacité d'exposition plein champ de plaquettes de jusqu'à 200 mm, et une résolution maximale de 2 µm L/S.
« Nous avons utilisé un système d'exposition de proximité, mais nous avons compris la nécessité de passer à une autre méthode d'exposition pour répondre aux besoins de modèles plus fins et améliorer la productivité. Le système de lithographie optique par projection pleine plaque d'USHIO répond à toutes nos exigences. Je crois que cela va nous permettre d'accélérer notre recherche et de contribuer grandement à l'amélioration de la productivité des dispositifs MEMS et des dispositifs semi-conducteurs composés, ainsi que d'accroître la précision et la densité de ces dispositifs », a commenté le Dr Thomas Ortlepp, directeur de la recherche, du développement et de la technologie chez CiS.
« Le UX4 est équipé de la lentille de projection développée originellement par USHIO pour permettre une lithographie par projection pleine plaque sans entrer en contact avec le masque ou la plaquette. Nous prévoyons que CiS sera en mesure d'accélérer la recherche et le développement, ce qui permettra d'améliorer la productivité et de réduire le coût de fabrication des dispositifs MEMS en Europe », a quant à lui déclaré Masayuki Itaba, directeur général de l'unité commerciale d'exposition chez USHIO INC.
USHIO occupera le stand 235 au salon SEMICON Europa 2014, qui se tiendra du 7 au 9 octobre à Grenoble, en France. La société y exposera sa Série UX de procédés de lithographie, dont le système UX4, sur un dispositif d'affichage à écran plat et sous le slogan « USHIO Full-Field Projection » (Projection pleine plaque USHIO) afin de fournir des solutions optimales pour les applications de conditionnement de nouvelle génération.
À propos de CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH
CiS est une institution de recherche à but non lucratif basée à Erfurt, en Allemagne. Elle mène des recherches orientées vers l'industrie et axées sur les technologies des microcapteurs et des microsystèmes. Au nom et avec le soutien des ministères et des services fédéraux et d'État, CiS entreprend des projets de recherche de pointe qui contribuent à l'innovation dans les secteurs public et privé. CiS offre également des services de recherche et de développement aux petites et moyennes entreprises pour soutenir leurs propres capacités de R&D.
Consulter http://www.cismst.org/en/profil/willkommen-bei-cis/.
À propos d'USHIO INC.
Créée en 1964, la société USHIO INC. (TOKYO : 6925) est un important fabricant de sources lumineuses telles que lampes, lasers et LED, dans une large gamme allant de l'ultraviolet aux rayons visibles et infrarouges, ainsi que d'appareils optiques et de produits liés au cinéma qui intègrent ces sources de lumière. La société fabrique également des produits pour les secteurs de l'électronique (tels que des semi-conducteurs, écrans plats et composants électroniques) et des applications visuelles (proposant notamment des projecteurs numériques et des dispositifs d'éclairage). Beaucoup de ces produits bénéficient de parts de marché dominantes. Au cours des dernières années, USHIO a entrepris des affaires dans les sciences de la vie, tels que le domaine médical et celui de la protection de l'environnement.
Consulter http://www.ushio.co.jp/en/.
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