Gigaphoton公司實現每年削減氦氣使用量1萬公秉的目標

世界首創 在全球展開不使用氦的純化製程

栃木縣小山市--()--(美國商業資訊)--微影光源的主要生產廠商——Gigaphoton公司(總公司:栃木縣小山市,總裁:都丸仁,www.gigaphoton.com)宣布,使用該公司「無氦化」技術的高輸出ArF浸潤式準分子雷射器(以下稱為ArF雷射器)每年在全世界實現的氦氣削減量已達到1萬公秉。

從2013年起,Gigaphoton公司按照獨創的EcoPhoton™計畫(注,持續實施符合客戶需要的降低環境負荷的活動——綠色創新活動。到目前為止,已充分運用其擁有的豐富實績與經驗,為客戶削減了各種成本。7月,該公司發表了新的綠色創新藍圖。其中,作為氦氣供應難題的解決方案,「無氦化」技術不僅應用於半導體產業,而且為整個工業界做出了重大貢獻。

本技術透過將在ArF雷射器內作為充填氣體使用的氦氣置換為氮氣的方式,將其使用量削減了99%,這是一種世界首創的技術。另外,即使將氦氣置換為氮氣,也不會犧牲光學特性,可以保持與使用氦氣時相同的高穩定性,這也是本技術的一大特徵。大型記憶體製造商也已在量產線的90%以上的雷射器上採用了本技術,而且在採用本技術以後,生產線運轉穩定,並未對曝光製程產生影響。現在,1台使用「無氦化」技術的ArF雷射器的氦氣削減量,雖然每年平均只有80公秉左右,但是,本技術已被市場中半數以上的雷射器所採用,因此,全世界的氦氣削減總量已達到每年1萬公秉。(本公司調查)

Gigaphoton公司總裁兼執行長都丸仁先生表示:「氦氣除用於半導體產業以外,作為核磁共振攝影(MRI)等醫療領域以及磁懸浮列車等領域中無可替代的資源,其需求量非常大。另外,新興國家對於氦氣的需求也在不斷增加,現在已處於供給不足的停滯狀態。透過採用此『無氦化』技術,可以將氦氣用於更需要的領域。今後,Gigaphoton公司將立志成為可以為工業界作出上述貢獻的企業,并不斷向前邁進。」

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EcoPhoton™計畫簡介(注
EcoPhoton™計畫是Gigaphoton2003年以來制定並實施的藍圖,旨在提供一種環保型、符合使用者需要的微影光源。在該計畫中,把雷射的持有成本(Cost of Ownership = CoO)分為3類,亦即:耗材的成本(Cost of Consumable = CoC)、停機時間的成本(Cost of Downtime=CoD),以及環境負荷的成本(Cost of Environment = CoE),並對各類成本的主要成因進行詳細分析,旨在提供運用新技術達到持續降低成本的目的。

Gigaphoton公司簡介
Gigaphoton成立於2000年,是一家雷射供應商,自成立以來不斷為全球的半導體生產廠商提供有價值的解決方案。Gigaphoton時刻以客戶為中心,從產品研發到生產、銷售及維護,為用戶提供業界最高水準的支援。如需詳細介紹,請造訪:www.gigaphoton.com

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新聞媒體專用聯絡窗口:
Gigaphoton株式會社
經營企劃部
松井章記
電話:+81-285-37-6931
信箱:web_info@gigaphoton.com

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