GIGAPHOTON開始為ArF浸潤式雷射器用戶提供新功能eTGM,可將氖氣消耗量減少50%

憑藉今年8月推出的新eTGM功能,Gigaphoton採取立即措施,因應氖氣供應的不確定性,為該產業提供支援

日本小山市--()--(美國商業資訊)--微影光源設備的主要製造商Gigaphoton Inc.今日宣布,為其高輸出的旗艦GT系列ArF浸潤式雷射器產品的現有使用者提供一項新功能,該功能稱為「eTGM (環保型全面氣體管理)」,現有用戶在一定時間(*1)內可免費使用。

目前用於尖端半導體製造的ArF浸潤式雷射器利用氖氣、氟氣和氬氣的混合氣體作為雷射氣體,其中氖氣占雷射混合氣體的96%以上。因此,操作ArF浸潤式雷射器需要消耗大量氖氣。然而,除最近氖氣供應量減少之外,烏克蘭(主要的氖氣生產大國之一)的政治不確定性以及今年9月奧德薩州發生的水災目前限制了這一稀有氣體的供應,從而導致其價格上漲。(*2)這對氖氣主要使用者——全球半導體產業可能會是一個嚴峻挑戰。

為了支援半導體元件穩定的大量生產(HVM),Gigaphoton決定提供其eTGM功能,該功能可使氖氣消耗量減少高達50%,公司的ArF浸潤式雷射器用戶可免費使用該功能,直至氖氣供應再次恢復常規水準。根據Gigaphoton公司的EcoPhoton™計畫,eTGM功能是一項Gigaphoton研發的新技術,該技術可大幅減少氖氣消耗量。該功能密切監測雷射器運作狀態,從而最佳化雷射氣體的注入量和排出量。透過將eTGM功能整合至雷射器中,可在不降低雷射器效能的情況下將氖氣消耗量減少一半。

eTGM功能是Gigaphoton公司ArF浸潤式雷射器的選用功能,可以整合到已經實地運作的雷射器中。在推出eTGM功能的同時,還提供一項新的「綠色監測」功能作為雷射器葉片的升級。該升級使用戶可以在生產環境中即時監測雷射氣體的消耗量。

Gigaphoton總裁兼執行長Hitoshi Tomaru 評論指出:「為了支援半導體元件的穩定量產,作為主要的雷射器供應商,公司決定免費提供eTGM功能,以確保可靠的生產環境。我們致力於繼續促進本公司的EcoPhoton™計畫,為半導體產業的環保事業做出進一步的貢獻 。」

(*1) 公司將免費提供eTGM功能,直至氖氣供應恢復正常狀態;Gigaphoton將決定該功能免費使用的終止日期。本新聞稿中描述的資訊僅在發布時有效,如有變動,恕不另行通知。

(*2) 根據Gigaphoton的調查研究。

關於EcoPhoton™計畫

EcoPhoton™計畫是始於2003年的一份規劃藍圖,旨在實現綠色創新。其專注於詳細分析3個關鍵的持有成本(CoO)指標:耗材成本 (CoC)、停機成本(CoD)和環境成本(CoE)。該計畫致力於透過開發創新的綠色技術來實現這些成本的持續降低。

關於Gigaphoton

自2000年成立以來,Gigaphoton一直致力於研發和供應能夠滿足用戶需求的高性能DUV雷射光源設備,其產品為泛亞洲地區、美國和歐洲地區的主要半導體製造商所採用。

Gigaphoton是具有成本效益的、用於大規模生產的高效率微影光源領域的領導者。Gigaphoton懷抱全球化業務願景,力爭成為世界首屈一指的微影光源供應商,從研發到生產,再到一流的可靠性和世界級客戶支援,在其事業中的每個階段都專注於終端使用者的需求。

參見此前與eTGM相關的新聞稿

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Contacts

Gigaphoton Inc.
Katsutomo Terashima, +81-285-37-6931
企業規劃部
web_info@gigaphoton.com

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