Toshiba estabelece nova tecnologia de plataforma para o processo de 40 nm CMOS

Reduz o consumo de energia em mais de 50%

TÓQUIO--(BUSINESS WIRE)--A Toshiba Corporation (TOKYO:6502) anunciou hoje a tecnologia de plataforma de 40 nm CMOS baseada na tecnologia de processo de 45 nm, co-desenvolvida com a NEC Electronics. A nova plataforma produz SOC para aplicativos móveis de potência crítica que consomem menos da metade da energia de LSI da geração de 65 nm. A empresa também anunciou que espera instalar a tecnologia em amostras no quarto trimestre do ano fiscal de 2008, e a produção em massa no segundo trimestre do ano fiscal de 2009. A nova plataforma foi lançada hoje na International Electron Devices Meeting (IEDM), em São Francisco, Califórnia.

Os aplicativos móveis avançados exigem tamanho reduzido de chip e menor consumo de energia. A migração de processos é uma solução para atender à demanda, no entanto, o comprimento reduzido de canais tende a provocar fuga de corrente. Tanto a redução de consumo de energia quanto a redução do tamanho do chip exigem controle da concentração da impureza do canal e refinamento do layout.

A Toshiba estabeleceu e aplicou a nova tecnologia de plataforma a uma nova seqüência de ativação utilizando fortalecimento da lâmpada de flash, otimizando impurezas no processo de implantação de íons e aplicando isoladores Hafnium incorporados e tecnologias DFM (design para manufatura). Dobrando o processo de fortalecimento da lâmpada de flash impulsionou o desempenho tanto dos PMOS quanto dos NMOS. A dopagem de germânio com nitrogênio no processo de implantação de íons minimizou a concentração na área do canal, o que contribui para um melhor desempenho do transistor. Os isoladores Hafnium incorporados melhoram a corrente de comando aumentando a tensão limiar sem concentração excessiva de impurezas do canal. A aplicação de tecnologias DFM permitiu um layout agressivamente escalado com menor número de defeitos litográficos.

A Toshiba vai melhorar ainda mais o desenvolvimento da tecnologia de baixo consumo de energia para as gerações avançadas.

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